マイクロ波プラズマの技術

マイクロ波プラズマの技術..
[著者]電気学会・マイクロ波プラズマ調査専門委...  [出版社]オーム社  [発行日]200309  マイクロ波帯のプラズマ生成と制御の技術を基礎から解説するとともに、各種応用のための技術や事例を具体的に解説。5,145円 

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